适用工艺：酸洗、碱洗、有机清洗、刻蚀、超声(兆声清洗)、QDR清洗、匀胶、显影、去胶、电镀、旋干、RCA清洗、LIFT-OFF等工艺
晶圆尺寸:碎片~12inch
操作方式:手动/半自动，可定制机械臂操作
槽式或者单片
药液供给：手动或者自动供给，可配套CDS中央供液系统
药液管理系统：自动供液、自动补液、循环过滤等