Canon FPA5000 ES3

1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.18µm

主要用于6寸、8寸及12寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.18µm

N.A.0.6-0.73

曝光光源248nm

倍率4:1

最大曝光现场26mm*33mm

对准精度35nm

3.更多服务

提供中英文软件及6"、 8"、12"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材