Canon FPA3000 EX4

1.Canon FPA3000 EX4步进式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.25µm

主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.25µm

N.A.0.4~0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

最大曝光现场22mm*22 mm

对准精度60nm

3.更多服务

提供中英文软件及4"、6"、8" 设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材